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400-888-1375

VAT閘閥14.0

  • 品  牌:VAT
  • 型  號(hào):14.0
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):162

產(chǎn)品介紹

14.0 HV閘閥系列專為標(biāo)準(zhǔn)高循環(huán)真空工藝中的可靠隔離而設(shè)計(jì)。該系列滿足耐用性、模塊化和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求,特別注重高運(yùn)行時(shí)間和低擁有成本。

14.0 HV閘閥配備專為實(shí)現(xiàn)閘板密封無(wú)摩擦可靠密封而開發(fā)的VATLOCK技術(shù)。VATLOCK機(jī)構(gòu)通過(guò)在關(guān)閉端位實(shí)現(xiàn)機(jī)械鎖定,有效防止閥門故障。

該系列已在數(shù)千個(gè)嚴(yán)苛工藝條件下成功應(yīng)用,其卓絕可靠性經(jīng)受住考驗(yàn)。DN63-400mm(2.5“-16”)規(guī)格已成為高真空隔離領(lǐng)域的行業(yè)標(biāo)桿。

憑借其堅(jiān)固耐用的無(wú)潤(rùn)滑設(shè)計(jì),該閥門完全滿足高真空閘閥的可靠性要求。14.0型專為ultra-high工藝循環(huán)次數(shù)設(shè)計(jì),真正樹立了行業(yè)標(biāo)桿。

14.0系列提供多種驅(qū)動(dòng)方式與法蘭連接方案,可輕松集成至各類真空系統(tǒng)。更配備豐富特殊選項(xiàng):粗抽口、排氣口、壓力表接口等接口配置,以及多種密封材料方案,確保完整適配不同應(yīng)用場(chǎng)景。

14.0 HV閘閥提供手動(dòng)、氣動(dòng)及帶電磁閥的三位置氣動(dòng)版本,可作為車載解決方案或用于外部安裝。電磁閥標(biāo)準(zhǔn)電壓為24 VDC,其他電壓可按要求提供。

法蘭連接的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA及JIS。可集成帶/不帶水冷功能的客戶定制法蘭。

性能特點(diǎn)

可靠、久經(jīng)考驗(yàn)的設(shè)計(jì)

無(wú)需潤(rùn)滑劑

VATLOCK技術(shù),具備故障安全防護(hù)功能

堅(jiān)固耐用的不銹鋼主體

高循環(huán)設(shè)計(jì)

性能可靠

延長(zhǎng)免維護(hù)周期

低擁有成本

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

瑞士

尺寸

DN 63(2½英寸)、DN 80(3英寸)、DN 100(4英寸)、DN 160(6英寸)、DN 200(8英寸)、DN 250(10英寸)、DN 320(12英寸)、DN 400(16英寸)

閥體材質(zhì)

不銹鋼

穿管結(jié)構(gòu)

旋轉(zhuǎn)穿管

標(biāo)準(zhǔn)法蘭

ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS

壓力范圍

1×10?? mbar 至 2 bar (abs) (DN 63 – 200)

1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 400)

初次維護(hù)前循環(huán)次數(shù)

200 000

加熱/冷卻速率

≤ 50 °C/h

安裝位置

任意方向(DN 63 – 350)

水平方向(DN 400)

電磁閥

24 VDC, 2.5 W(其他規(guī)格可定制)

閥位指示

可視(機(jī)械式)

執(zhí)行機(jī)構(gòu)

三位置氣動(dòng):雙作用

手動(dòng):帶杠桿或手輪

泄漏率

閥體:< 1 × 10?? mbar·l/s

閥座:< 1 × 10?? mbar·l/s

壓差

閘閥端

≤ 2 bar (DN 63 – 200)

≤ 1.2 bar (DN 250 – 400)

開啟時(shí)

≤ 30 mbar

溫度

閥體:≤ 150 °C

氣動(dòng)執(zhí)行器:≤ 50 °C

手動(dòng)執(zhí)行器:≤ 80 °C

電磁閥:≤ 50 °C

位置指示器:≤ 80 °C

材質(zhì)

閥體

AISI 304 (1.4301)

傳動(dòng)機(jī)構(gòu)

AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301)

AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034)

密封

閥蓋、閘板:FKM (氟橡膠)

位置指示器:觸點(diǎn)額定值

電壓:≤ 250 VAC  ≤ 50 VDC

電流:≤ 5 A  ≤ 3 A

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體制造

用于基質(zhì)轉(zhuǎn)移、過(guò)程隔離和真空系統(tǒng)控制,確保晶圓加工過(guò)程中的真空環(huán)境穩(wěn)定性。

兼容高循環(huán)真空工藝,滿足長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間和低購(gòu)置成本需求。

顯示器生產(chǎn)

在干式蝕刻、濺射、薄膜封裝(CVD)、OLED蒸發(fā)等工藝中,提供可靠的真空隔離。

快速響應(yīng)特性減少工藝延遲,提升生產(chǎn)效率。

科研與工業(yè)領(lǐng)域

空間模擬:19.2系列大型閘閥(DN 400-1250 mm)支持超大尺寸真空隔離,壓力達(dá) 1 × 10?¹? mbar。

真空爐與運(yùn)輸:全金屬閥設(shè)計(jì)適應(yīng)惡劣溫度和輻射條件,確保真空系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。


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