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400-888-1375

VAT高真空閘閥11.1

  • 品  牌:VAT
  • 型  號:11.1
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):100

產(chǎn)品介紹

11.1 HV閘閥系列配備專為閘板密封設(shè)計、可實現(xiàn)無摩擦可靠密封的VATLOCK技術(shù)。該技術(shù)通過在關(guān)閉端位實現(xiàn)機(jī)械鎖定,有效防止閥門故障。

該系列及其前代產(chǎn)品11.0系列已在數(shù)千個嚴(yán)苛工況中投入使用,經(jīng)受住各種工藝條件的考驗,其卓絕可靠性已獲充分驗證。在DN 63-320毫米(2.5“-11.5”)規(guī)格范圍內(nèi),它們已成為高壓隔離需求的行業(yè)標(biāo)桿。

憑借堅固設(shè)計,11.1系列滿足高壓閘閥可靠運行的全部要求。該系列專為ultra-high工藝循環(huán)次數(shù)設(shè)計,樹立了通用型高壓閘閥的新標(biāo)桿。

本系列提供多種驅(qū)動方式和法蘭連接方案,可輕松集成至任何高壓系統(tǒng)。窗口、端口等豐富特殊選項確保整體適配各類應(yīng)用場景。

11.1 HV閘閥提供手動、氣動及三位置氣動三種版本。該閥門可通過電磁閥控制,電磁閥可安裝在閥體上,也可根據(jù)需要安裝在遠(yuǎn)端位置。電磁閥標(biāo)準(zhǔn)電壓為24V直流,其他電壓規(guī)格可按要求提供。閥門位置通過雙位置指示器顯示——分別配備兩個開關(guān)用于“開”和“關(guān)”位置——并帶有轉(zhuǎn)換觸點。

法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項包括ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS??杉蓭浠虿粠涞目蛻舳ㄖ品ㄌm。

閘板密封可選O型圈密封或硫化密封(maxDN 200 mm/8")。因其在真空性能和可靠性方面表現(xiàn)優(yōu)異,建議采用硫化密封方案。

性能特點

可靠、久經(jīng)考驗的設(shè)計

配備防故障保護(hù)的VATLOCK技術(shù)

堅固耐用的不銹鋼主體

高循環(huán)設(shè)計

焊接金屬波紋管密封穿墻件

彈性體密封閘閥類別中真空性能

運行可靠

延長免維護(hù)周期

低擁有成本

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

瑞士

尺寸

DN 63(2½英寸)、DN 80(3英寸)、DN 100(4英寸)、DN 160(6英寸)、DN 200(8英寸)、DN 250(10英寸)、DN 320(12英寸)

閥體材質(zhì)

不銹鋼

穿管結(jié)構(gòu)

波紋管

標(biāo)準(zhǔn)法蘭

ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS

壓力范圍

1×10??毫巴至1.6巴(absolutely值)(DN 63–200)

1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 320)

初次維護(hù)前循環(huán)次數(shù)

200 000

安裝位置

任意

電磁閥

24 VDC,5.4 W(其他規(guī)格可定制)

閥位指示

可視(機(jī)械式)

執(zhí)行機(jī)構(gòu)

三位置氣動:雙作用

手動:帶曲柄手柄

泄漏率

閥體:< 1 × 10?? mbar·l/s

閥座:< 1 × 10?? mbar ls?¹

壓差

閘閥端

≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)

≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)

開啟時

≤ 30 mbar

溫度

閥體:≤ 150 °C

執(zhí)行器:≤ 80 °C

電磁閥:≤ 50 °C

位置指示器:≤ 50 °C

材質(zhì)

閥體

AISI 304 (1.4301)

傳動機(jī)構(gòu)

AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200)

AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320)

波紋管

AISI 633 (AM350)

密封

閥蓋、閘板:FKM (氟橡膠)

位置指示器:觸點額定值

電壓:≤ 50 VAC/DC

電流:≤ 1.2 A

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體制造

用于基質(zhì)轉(zhuǎn)移、工藝腔室隔離等關(guān)鍵環(huán)節(jié),確保高純度真空環(huán)境,防止顆粒污染。

顯示器生產(chǎn)

適配干式蝕刻、濺射、薄膜封裝(CVD)、OLED蒸發(fā)等工藝,滿足精細(xì)控制需求。

科研與高能物理

在空間模擬、高能物理實驗中,提供穩(wěn)定的高真空隔離解決方案。

工業(yè)領(lǐng)域

真空爐、真空運輸、電池生產(chǎn)等場景,依賴其可靠性和耐久性。


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