VAT傳輸閥02.4
- 品 牌：VAT
- 型 號：02.4
- 技術(shù)資料：
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產(chǎn)品介紹
02.4型大型轉(zhuǎn)移閥搭載MONOVAT技術(shù)，專為滿足高真空條件下有機材料蒸鍍系統(tǒng)的特殊需求而研發(fā)。該閥門專為高循環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)設(shè)計，兼具卓絕的快速動作響應(yīng)與抗工藝沉積物能力，可有效避免標(biāo)準(zhǔn)閥門性能受限問題。02.4型閥門經(jīng)設(shè)計可實現(xiàn)100萬次不間斷運行，之后才需進行初次引薦維護檢查。
高運行時間與可靠性能是02.4系列的核心優(yōu)勢，其維護需求被降至lowest。采用專屬MONOVAT密封技術(shù)，閥門啟閉過程實現(xiàn)無沖擊運動，有效抑制顆?；罨p少密封磨損。密封機構(gòu)的緊湊設(shè)計使整個閥體結(jié)構(gòu)精巧，安裝尺寸小巧。
該系列已在全球數(shù)百家顯示器與光伏生產(chǎn)系統(tǒng)中投入運行，經(jīng)受各種工藝條件考驗，其卓絕性能在各方面均獲得充分驗證。
02.4型大型轉(zhuǎn)移閥（帶MONOVAT）與所有VAT轉(zhuǎn)移閥解決方案一樣，均可根據(jù)客戶準(zhǔn)確要求定制。定制要素包括：用于脈沖驅(qū)動的電磁閥、特殊表面處理（如硬質(zhì)陽極氧化或鍍鎳鋁材）、其他密封材料、閘門接地等。
性能特點
緊湊設(shè)計與小巧安裝尺寸
無沖擊閘門運動
抗工藝沉積物能力
低運行成本
快速循環(huán)時間
高運行時間，低維護需求
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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尺寸 |
標(biāo)準(zhǔn)：50×500毫米至150×1600毫米（1.97英寸×19.69英寸至5.91英寸×62.99英寸）特殊尺寸可定制 |
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執(zhí)行器 |
氣動：雙作用 |
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閥體材質(zhì) |
鋁合金 |
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穿壁結(jié)構(gòu) |
帶中間抽吸的軸穿壁 |
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泄漏率 |
閥體、閥座：< 1 × 10?? mbar·l/s |
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閘板處壓差 |
關(guān)閉/開啟方向：≤ 1 bar |
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開啟時壓差 |
≤ 5 mbar |
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初次維護前循環(huán)次數(shù) |
100萬次 |
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關(guān)閉或開啟時間 |
≤ 1.5 s（開啟高度100 mm時） |
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溫度 |
閥體、閘板：≤ 120°C |
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執(zhí)行器、位置指示器：≤ 60°C |
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閥體/閘板溫差 |
小尺寸：≤ 40°C |
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大尺寸：≤ 25°C |
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材質(zhì) |
閥體、閘板：EN AW-5083 (3.3547) |
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執(zhí)行器軸：AISI 304 (1.4301) 硬鉻鍍層 |
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差壓片：AISI 304 (1.4301) |
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密封件 |
閘板、法蘭、穿管：FKM（氟橡膠） |
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安裝位置 |
執(zhí)行器上置、下置或側(cè)置 |
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位置指示器 |
電壓：10–30 VDC PNP（可選NPN） |
產(chǎn)品應(yīng)用
平板顯示器制造：用于有機發(fā)光二極管（OLED）等顯示面板的真空沉積工藝，確保高精度材料沉積。
光伏生產(chǎn)：在太陽能電池的真空鍍膜環(huán)節(jié)中，實現(xiàn)高真空環(huán)境下的穩(wěn)定傳輸，提升產(chǎn)品良率。
半導(dǎo)體封裝：支持高真空條件下的晶圓傳輸，減少顆粒污染風(fēng)險。
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