VAT擺動控制閥65.5

品　　牌：VAT
型　　號：65.5
技術資料：
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產(chǎn)品介紹

65.5 HV擺動控制閥提供卓絕的高可控導電率范圍。其關鍵特性還在于平滑的啟閉運動，可實現(xiàn)極低的顆粒計數(shù)和低顆?；罨?。

該閥門專為半導體生產(chǎn)工藝中的腐蝕性蝕刻和清洗等惡劣工況設計，在需要高可控導電率范圍且初始可控導電率較低的應用場景中表現(xiàn)優(yōu)異。

65.5閥門提供DN 250mm（10英寸）規(guī)格，lowest導通量可控至2 l s?¹。憑借32位執(zhí)行器控制器的數(shù)據(jù)處理能力，導通量增量可實現(xiàn)極精細調(diào)控。其傳感器與控制指令處理速度優(yōu)于同等16位控制器，從而提供更快的執(zhí)行響應。控制器配備多種標準端口接口，可輕松連接個人電腦或過程控制單元。

擺動閘門機構采用高度堅固的設計，確保能抵御任何工藝副產(chǎn)物的影響。為減少密封件磨損并避免顆粒產(chǎn)生及活化，其啟閉運動被分段實施：初始導流階段通過閘門垂直遠離閘座實現(xiàn)，后續(xù)導流增強則依靠閘門水平擺動完成。憑借閘門運動的精細可控性，預設運動序列可準確匹配工藝需求。通過專利設計的專用壓緊桿將閘門壓向閥座，確保閘門各區(qū)域均獲得均勻密封壓力，實現(xiàn)完全密封關閉。

65.5系列采用緊湊設計，支持直接安裝及多種其他配置選項，可輕松集成于各類真空工藝流程。

65.5 HV擺動控制閥提供空白或硬質(zhì)陽極氧化鋁材質(zhì)，配備符合ISO-F和JIS標準的法蘭連接件?？杉煽蛻舳ㄖ品ㄌm，并可加裝加熱器以滿足高達120°C的閥門工作溫度需求。

性能特點

在惡劣工藝環(huán)境中實現(xiàn)可靠隔離

低沖擊運行，低顆?；罨?/p>

工藝惰性——極低殘余脫氣量（RGA）

快速可調(diào)操作

內(nèi)置壓力控制器

僅需單一電源供電，可選配傳感器電源

卓絕的壓力控制性能

快速運行，幾乎無顆粒產(chǎn)生

可根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)

產(chǎn)品結構與細節(jié)

閘板
執(zhí)行器軸
雙軸執(zhí)行器
執(zhí)行器穿壁密封件
閘板密封件

技術參數(shù)

產(chǎn)地	瑞士
尺寸	DN 250 (10")
執(zhí)行器	帶伺服驅(qū)動的集成壓力控制器
閥體材料	鋁坯或硬質(zhì)陽極氧化鋁
穿墻件	旋轉穿墻件
標準法蘭	ISO-F、JIS
安裝位置	任意
泄漏率閥體	鋁坯：< 1 × 10?? mbar·s?¹
泄漏率閥體	硬質(zhì)陽極氧化鋁：< 1 × 10?? mbar·s?¹
閥座泄漏率	鋁坯：< 1 × 10?? mbar·ls?¹
閥座泄漏率	硬質(zhì)陽極氧化鋁：< 1 × 10?? mbar·ls?¹
壓力范圍	鋁坯：1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs)
壓力范圍	硬質(zhì)陽極氧化鋁：1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs)
溫度	閥體：≤ 120 °C
溫度	控制器：highest 50 °C（引薦 ≤ 35 °C）
材質(zhì)	閥體、閥板：EN AW-6061 (3.2311) T651
	其他部件：AISI 316L（1.4404, 1.4435）
	閥板連接螺釘：SST A4-80，鍍鎳聚四氟乙烯（Ni-PTFE）
密封件	閥蓋、閥板體穿壁件：氟橡膠（FKM/Viton）

產(chǎn)品應用

半導體制造：在腐蝕性刻蝕和清潔工藝中，65.5系列閥門通過精細流導控制，減少粒子污染，提升良品率。

顯示器生產(chǎn)：其低沖擊運行特性避免對敏感顯示層的損傷，確保生產(chǎn)穩(wěn)定性。

真空傳輸系統(tǒng)：緊湊設計和可靠密封性能，使其成為真空傳輸環(huán)節(jié)的理想選擇。