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400-888-1375

VAT泄壓閥21224-KEXX

  • 品  牌:VAT
  • 型  號(hào):21224-KEXX
  • 技術(shù)資料:
  • 閱讀次數(shù):3473

產(chǎn)品介紹

泄壓閥的主要要求是其可靠和準(zhǔn)確作用的泄壓觸發(fā)器。212 減壓觸發(fā)器由高耐用性壓力彈簧驅(qū)動(dòng),該彈簧設(shè)計(jì)用于延長(zhǎng)使用壽命。觸發(fā)器經(jīng)過(guò)校準(zhǔn),可處理 1.2 至 1.5 bar 閥門開口處的壓差。其工作范圍設(shè)置在 1×10-8 mbar 和 1.2 bar 之間,氣體流量max.6升/分鐘。

212 系列在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應(yīng)用中進(jìn)行了測(cè)試,證明了其可靠性。

212 泄壓閥有 DN 16mm (5/8") 可供選擇。閥體由不銹鋼制成。標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-KF。其烘烤溫度≤150°C。

性能特點(diǎn)

精細(xì)保護(hù)

快速響應(yīng)壓力突變,防止系統(tǒng)過(guò)壓損壞,保障設(shè)備安全運(yùn)行。

適用于對(duì)壓力敏感的精細(xì)工藝,如半導(dǎo)體晶圓加工、真空鍍膜等。

成本效益

低擁有成本:長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)減少更換頻率,降低長(zhǎng)期維護(hù)費(fèi)用。

高性價(jià)比:在同類產(chǎn)品中,其性能與價(jià)格平衡出菜,適合大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用。

兼容性與靈活性

支持多種真空系統(tǒng)配置,可與其他VAT閥門(如閘閥、角閥)協(xié)同工作。

模塊化設(shè)計(jì)便于升級(jí)或擴(kuò)展,適應(yīng)未來(lái)工藝調(diào)整需求。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

瑞士

觸發(fā)壓力與壓差

觸發(fā)器經(jīng)過(guò)校準(zhǔn),可處理閥門開口處 1.2至1.5 bar 的壓差。

釋放觸發(fā)點(diǎn)為 >1.5 bar,即當(dāng)系統(tǒng)壓力超過(guò)此值時(shí),閥門開啟釋放壓力。

工作范圍

壓力范圍覆蓋 1×10?³ mbar 至 1.2 bar,適用于從高真空到中等壓力的廣泛場(chǎng)景。

這一特性使其在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等對(duì)壓力敏感的工藝中表現(xiàn)優(yōu)異。

流量與尺寸

max氣體流量為 6升/分鐘,滿足小流量精細(xì)調(diào)節(jié)需求。

提供 DN 16mm(5/8") 規(guī)格,兼容多種管道系統(tǒng)。

材質(zhì)與結(jié)構(gòu)

閥體采用 不銹鋼 制造,耐腐蝕、耐高溫,適應(yīng)苛刻工業(yè)環(huán)境。

標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-KF,便于與現(xiàn)有真空系統(tǒng)集成。

壽命與可靠性

觸發(fā)器由高耐用性壓力彈簧驅(qū)動(dòng),經(jīng)校準(zhǔn)后壽命顯著延長(zhǎng),減少維護(hù)頻率。

在數(shù)千種苛刻工藝條件下通過(guò)長(zhǎng)期測(cè)試,證明其穩(wěn)定性與可靠性。

烘烤溫度

支持 ≤150°C 的烘烤溫度,適應(yīng)高溫消毒或工藝需求。

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體制造

在晶圓加工、光刻、蝕刻等環(huán)節(jié)中,維持真空腔室壓力穩(wěn)定,避免污染或工藝偏差。

真空鍍膜

控制鍍膜過(guò)程中的氣體壓力,確保薄膜均勻性,提升產(chǎn)品良率。

太陽(yáng)能電池板生產(chǎn)

在真空干燥、層壓等步驟中,防止壓力波動(dòng)導(dǎo)致電池板缺陷。

工業(yè)研究

實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)中,為高精度實(shí)驗(yàn)提供可靠的壓力保障。


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