VAT泄漏閥59024-GEGG

產(chǎn)品介紹

59.0 UHV 全金屬可變泄漏閥允許準(zhǔn)確控制非常小的氣體流量（1·10-10 mbar ls^-1至500 mbar ls^-1）。憑借其全金屬設(shè)計(jì)，它非常適合 UHV 和UHV 工藝中的氣體計(jì)量要求。

59.0 的特殊控制功能保證了可重復(fù)的準(zhǔn)確氣體流量設(shè)置，增強(qiáng)了過程控制能力。它還在整個(gè)生命周期內(nèi)提供可靠、無泄漏的關(guān)閉，沒有任何密封疲勞的風(fēng)險(xiǎn)。

全金屬設(shè)計(jì)——不銹鋼閥體和鍍金不銹鋼薄膜閘門密封——使 59.0 還具有對(duì)腐蝕性和腐蝕性氣體的高耐受性。

59.0 已經(jīng)安裝在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應(yīng)用中，證明了其可靠性。它已成為 UHV 和 XHV 應(yīng)用中可變泄漏閥的標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

高精度氣體流量控制

可準(zhǔn)確控制微小氣體流量，范圍達(dá) 1×10?¹? mbar·L/s 至 500 mbar·L/s，滿足UHV/XHV工藝中氣體計(jì)量的嚴(yán)苛要求。

特殊控制機(jī)構(gòu)確保氣體流量設(shè)置可重復(fù)，顯著提升工藝控制能力。

全金屬密封結(jié)構(gòu)

采用不銹鋼閥體 + 鍍金不銹鋼薄膜閘門密封，實(shí)現(xiàn)“硬對(duì)硬”金屬密封，消除密封疲勞風(fēng)險(xiǎn)，確保終生無泄漏。

對(duì)腐蝕性及侵蝕性氣體具有高耐受性，適用于半導(dǎo)體、科研等高純度要求場(chǎng)景。

模塊化與靈活性

提供 DN16mm（5/8英寸）規(guī)格，可選角閥或直通式結(jié)構(gòu)。

支持手動(dòng)操作或集成步進(jìn)電機(jī)控制器，滿足不同自動(dòng)化需求。

產(chǎn)地	瑞士
流量控制范圍	準(zhǔn)確控制微小氣體流量，范圍為 1×10?¹? mbar·L/s 至 500 mbar·L/s，滿足UHV/XHV工藝中氣體計(jì)量的嚴(yán)苛要求。
密封性能	采用全金屬密封結(jié)構(gòu)（不銹鋼閥體 + 鍍金不銹鋼薄膜閘門密封），實(shí)現(xiàn)“硬對(duì)硬”金屬密封，確保終生無泄漏，密封壽命達(dá) 40萬次調(diào)節(jié)循環(huán) + 1萬次密閉關(guān)閉循環(huán)，且膜片支持便捷更換。
法蘭與接口	標(biāo)配可旋轉(zhuǎn)式CF-R法蘭，適配多種真空系統(tǒng)；可選角閥或直通式結(jié)構(gòu)，提供 DN16mm（5/8英寸）規(guī)格。
操作方式	支持手動(dòng)操作或集成步進(jìn)電機(jī)控制器（需注意：帶控制器時(shí)highest烘烤溫度為150℃，拆離控制器后可承受300℃烘烤）。
耐腐蝕性	全金屬設(shè)計(jì)對(duì)腐蝕性和侵蝕性氣體具有高耐受性，適用于半導(dǎo)體制造、科研裝置等高純度環(huán)境。
溫度范圍	閥體highest可承受 300℃（需拆離控制器烘烤），驅(qū)動(dòng)器溫度限制為 ≤300℃。
重量與尺寸	閥門重量為 1.25 kg，結(jié)構(gòu)緊湊，便于集成到真空系統(tǒng)中。

半導(dǎo)體制造

晶圓傳輸腔體隔離、CVD/PVD工藝腔氣體計(jì)量，確保高純度環(huán)境與準(zhǔn)確流量控制。

科研裝置

同步輻射光束線、粒子加速器真空系統(tǒng)，滿足惡劣真空與穩(wěn)定流量需求。

高真空實(shí)驗(yàn)

表面科學(xué)、材料研究等領(lǐng)域，提供可靠的氣體定量輸送解決方案。