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WASCO真空開關UHP160

產(chǎn)品介紹

自1989年以來,客戶一直依賴UHP160系列的可靠性和性能。除了全焊接結構外,該系列還配備了全不銹鋼傳感器。UHP160系列采用了沃斯科的專有制造方法,消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的好的開關,精度高,公差小。

性能特點

我們?yōu)榘雽w設備等較高純度應用設計了這些開關。UHP160系列不含任何彈性體或o型圈。根據(jù)SEMI F1,所有開關都經(jīng)過氦泄漏測試,達到≤ 1 x 10-9標準立方厘米/秒。UHP160系列在100級潔凈室中制造和包裝。

 

技術參數(shù)

 

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應用

煤氣箱

臭氧系統(tǒng)

氣體分配系統(tǒng)

半導體設備

醫(yī)療設備


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